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Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Dispositivos para Sistemas Ópticos.

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Apresentação em tema: "Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Dispositivos para Sistemas Ópticos."— Transcrição da apresentação:

1 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Dispositivos para Sistemas Ópticos

2 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Espelhos fixos e móveis horizontais e verticais

3 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Chaveamento Óptico Estrutura mecânica ressonante

4 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Estruturas Mecânicas

5 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Estrutura Comb Drive x y parte fixa massa móvel acelerômetro filtro mecânico atuadores ressonantes

6 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas (Micro-) Motores e Engrenagens

7 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Fluídica Válvula (surface / back-side bulk micromachining) fechada aberta fluxo Bomba de Propulsão (processo híbrido) fluxo entrada saída

8 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Componentes para Circuitos Microondas

9 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Linha de Transmissão plano de massa linha metálica

10 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Indutor Espiral Planar

11 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Indutor Espiral Planar... Membrana Linhas Isoladas open areas

12 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Transformadores Planares Cp = Cs 40fF 15fF Cm 200fF 80fF

13 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Formulação Matemática Formulação Matemática Circuito Elétrico Equivalente Circuito Elétrico Equivalente Método de Elementos Finitos Método de Elementos Finitos Modelagem e CAD

14 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas LIBRARY conserved_systems; USE conserved_systems.nature_pkg.ALL; ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; -- plate thickness a: real := 1e-3; -- plate side length r0: real; -- nominal resistance rs: real); -- sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; -- fluidic pin TERMINAL ep: electrical); -- electrical pin END ENTITY piezopress_equ; ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; -- Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := ; -- Si Poissons ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); -- rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; -- deflection coefficient BEGIN (w11/h)** *w11/h == *p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11); END ARQUITECTURE equ; Linguagem de Descrição Linguagem de Descrição de Hardware Analógico HDL-ASpectre-HDL VHDL VHDL-AMS Sensor de pressão piezo-resistivo

15 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Simuladores de Usinagem

16 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Conclusão Área de desenvolvimento promissora Identificação de aplicações potenciais Criatividade na criação de dispositivos Equipes de trabalho multi-disciplinares

17 Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Fotos : Sandia National Laboratories MCNC MEMS Technology Applications Center TIMA Laboratory - INPG University of Wisconsin - Madison Journal of Microelectromechanical Systems Fotos : Sandia National Laboratories MCNC MEMS Technology Applications Center TIMA Laboratory - INPG University of Wisconsin - Madison Journal of Microelectromechanical Systems


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