Dispositivos para Sistemas Ópticos

Apresentação em tema: "Dispositivos para Sistemas Ópticos"— Transcrição da apresentação:

1 Dispositivos para Sistemas Ópticos

2 Micro-Espelhos fixos e móveis horizontais e verticais

3 Estrutura mecânica ressonante
Chaveamento Óptico Estrutura mecânica ressonante

4 Micro-Estruturas Mecânicas

5 Estrutura Comb Drive acelerômetro filtro mecânico
massa móvel acelerômetro filtro mecânico atuadores ressonantes parte fixa y x

6 (Micro-) Motores e Engrenagens

7 Micro-Fluídica Válvula (surface / back-side bulk micromachining)
Bomba de Propulsão (processo híbrido) fluxo fluxo entrada fechada fluxo saída aberta

8 Componentes para Circuitos Microondas

9 Linha de Transmissão linha metálica plano de massa

10 Indutor Espiral Planar

11 Indutor Espiral Planar...
Membrana open areas Linhas Isoladas

12 Transformadores Planares
Cp = Cs 40fF  15fF Cm 200fF  80fF

13 Modelagem e CAD Formulação Matemática Método de Elementos Finitos
Circuito Elétrico Equivalente

14 Linguagem de Descrição
de Hardware Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL VHDL-AMS LIBRARY conserved_systems; USE conserved_systems.nature_pkg.ALL; ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; plate thickness a: real := 1e-3; plate side length r0: real; nominal resistance rs: real); sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; fluidic pin TERMINAL ep: electrical); electrical pin END ENTITY piezopress_equ; ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := ; Si Poisson’s ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; deflection coefficient BEGIN (w11/h)** *w11/h == *p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11); END ARQUITECTURE equ; Sensor de pressão piezo-resistivo

15 Simuladores de Usinagem

16 Conclusão Área de desenvolvimento promissora
Identificação de aplicações potenciais Criatividade na criação de dispositivos Equipes de trabalho multi-disciplinares

17 Fotos : Sandia National Laboratories
MCNC MEMS Technology Applications Center TIMA Laboratory - INPG University of Wisconsin - Madison Journal of Microelectromechanical Systems