Fotos de Microeletrônica e Micro-Sistemas

Apresentação em tema: "Fotos de Microeletrônica e Micro-Sistemas"— Transcrição da apresentação:

1 Fotos de Microeletrônica e Micro-Sistemas
Jacobus W. Swart CCS UNICAMP

2 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica

3 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica 1958: J. Kilby, Texas Inst., patente de CI, usando processo rudimentar:

4 1959 - J. Hoerni, Fairchild, processo planar:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica J. Hoerni, Fairchild, processo planar: Superf. Si oxidado + fotogravação, abertura de janelas para difusão, vários no mesmo plano.

5 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica Primeiro CI, Fairchild

6 Op-Amp A702, Fairchild

7 Op-Amp A709, Fairchild

8 SRAM 256 Bit, Fairchild

9 Bit DRAM, Intel

10 CCD 8 Bit, Bell Labs

11 1971 - Microprocessador 4004, Intel

12 Outras Comparações:

13 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica

14 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica

15 Previsão: Roadmap SIA 1997 Dado \ Ano LMIN.(nm) DRAM (bits) 256M 1G - 4G 16G 64G 256G Área chip DRAM (mm2) Diâmetro / lâmina (mm) Níveis de metal (lógica) Compr. metal (lógica) (m) VDD(V) FMAX de relógio (MHz) Número máscaras Defeitos (m-2)*** Custo/bit DRAM inicial (c)

16 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 2. História da Microeletrônica

17 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 3
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 3. História da Microeletrônica no Brasil - ROM 2 k Bit, 1978

18 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 3
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 3. História da Microeletrônica no Brasil - BCCD, 1981

19 Microssistemas = IMEMS (Integrated MicroElectroMechanical Systems)
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 4. Itrodução a Micro-sistemas. Microssistemas = IMEMS (Integrated MicroElectroMechanical Systems) Inclui num mesmo chip: circuito integrado microssensores microatuadores

20 Importância para várias aplicações:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 4. Itrodução a Micro-sistemas. Importância para várias aplicações: saúde transporte indústria ambiente agricultura defesa e segurança produtos de consumo outros

21 Num sistema geral e genérico temos:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 4. Itrodução a Micro-sistemas. Sensor ou atuador: converte um estímulo físico-químico num outro sinal. Num sistema geral e genérico temos:

22 Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 4
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas 4. Itrodução a Micro-sistemas.

23 Exemplos: Acelerômetro para “airbag”

24 Matriz de espelhos - proj. óptica

25 Sensor de Pressão

26 Sensor de pressão inteligente

27 Display de emissão de elétrons

28 Ponta de prova para AFM

29 Pinça

30 Engrenagens (Liga)