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APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS.

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Apresentação em tema: "APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS."— Transcrição da apresentação:

1 APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

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3 ESTRUTURA DO ÓXIDO DO SILÍCIO

4 PROCESSOS BÁSICOS (DIFUSÃO E REAÇÃO) P/ OXIDAÇÃO DO SILÍCIO

5 CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A OXIDAÇÃO TÉRMICA P/ FORMAÇÃO DO SiO 2 X Si (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) 0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO 2 )

6 INFLUÊNCIA DA EXPANSÃO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE ISOLAÇÃO POR OXIDAÇÃO LOCAL (LOCOS)

7 OXIDAÇÃO TÉRMICA DO SILÍCIO

8 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

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17 OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO

18 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) OXIDAÇÃO CONTROLADA POR REAÇÃO OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO

19 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

20 TAXA PARABÓLICA B

21 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) TAXA LINEAR B/A

22 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) TAXA LINEAR B/A

23 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) TAXA LINEAR B/A

24 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) TAXA PARABÓLICA B B FATORES QUE ALTERAM D e C*, ALTERAM B

25 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) TAXA LINEAR B/A B/A FATORES QUE ALTERAM k e C*, ALTERAM B/A

26 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) ORIENTAÇÃO

27 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) PRESSÃO E ORIENTAÇÃO TAXA PARABÓLICA: OXIDAÇÃO CONTROLADA PELA DIFUSÃO

28 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

29 LÂMINAS DE Si DOPADAS COM FÓSFORO

30 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE) LÂMINAS DE Si DOPADAS COM BORO

31 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

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33 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

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