APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

Apresentação em tema: "APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS"— Transcrição da apresentação:

1 APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

2 APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

3 ESTRUTURA DO ÓXIDO DO SILÍCIO

4 PROCESSOS BÁSICOS (DIFUSÃO E REAÇÃO) P/ OXIDAÇÃO DO SILÍCIO

5 CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A OXIDAÇÃO TÉRMICA P/ FORMAÇÃO DO SiO2
XSi (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si)  0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO2)

6 INFLUÊNCIA DA EXPANSÃO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE ISOLAÇÃO POR OXIDAÇÃO LOCAL (LOCOS)

7 OXIDAÇÃO TÉRMICA DO SILÍCIO

8 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

9 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

10 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

11 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

12 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

13 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

14 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

15 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

16 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

17 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO

18 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO OXIDAÇÃO CONTROLADA POR REAÇÃO

19 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

20 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA PARABÓLICA B

21 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A

22 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A

23 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A

24 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA PARABÓLICA B FATORES QUE ALTERAM D e C*, ALTERAM B

25 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
TAXA LINEAR B/A FATORES QUE ALTERAM k e C*, ALTERAM B/A

26 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
ORIENTAÇÃO

27 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
PRESSÃO E ORIENTAÇÃO TAXA PARABÓLICA: OXIDAÇÃO CONTROLADA PELA DIFUSÃO

28 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

29 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
LÂMINAS DE Si DOPADAS COM FÓSFORO

30 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)
LÂMINAS DE Si DOPADAS COM BORO

31 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

32 CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

33 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

34 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

35 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

36 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

37 DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO