Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs
Por que determinar a condutividade térmica de um material?
Principais métodos analisados para determinação da condutividade térmica Método Laser-Flash; Mirage; 3 ω; Termo-refletância.
Determinação da condutividade térmica perpendicular ao plano do filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo unidimensional de condução de fluxo de calor
t 1/2 é determinado através do gráfico obtido experimentalmente [2] Em que é a difusividade térmica, L é a espessura e t 1/2 é a metade do tempo necessário para que o corpo atinja sua temperatura máxima.
= difusividade térmica (m 2 /s) к = condutividade térmica (W/mK) = densidade (Kg/m 3 ) c = calor específico (J/Kg K)
Dificuldades encontradas Detector suficientemente rápido para o comprimento de onda; O transiente de temperatura é medido atrás do substrato.
Mirage
Dificuldades encontradas Medidas estão muito próximas do limite de sensibilidade do método; A condutividade do ar acima do filme diminui a sensibilidade de detecção; Sensor de posição.
Método 3 ω
Dificuldades encontradas Envolve preparação da amostra; Alta uniformidade da superfície; Substrato.
Termo-refletância
Em que regime ela é aplicável?
Teoria da Linha de Transmissão
Método Stehfest
1.Resistência térmica; 2.Condutividade térmica do substrato depende da dopagem;