A apresentação está carregando. Por favor, espere

A apresentação está carregando. Por favor, espere

Filmes Finos. Camadas com espessura inferior à 10 m –Monocamada –Multicamadas Espessuras da ordem de dezenas de ângstrons –Poços Quânticos Múltiplos de.

Apresentações semelhantes


Apresentação em tema: "Filmes Finos. Camadas com espessura inferior à 10 m –Monocamada –Multicamadas Espessuras da ordem de dezenas de ângstrons –Poços Quânticos Múltiplos de."— Transcrição da apresentação:

1 Filmes Finos

2 Camadas com espessura inferior à 10 m –Monocamada –Multicamadas Espessuras da ordem de dezenas de ângstrons –Poços Quânticos Múltiplos de semicondutores –Sistemas magnéticos para armazenamento de dados

3

4

5 Filmes Finos Técnicas de deposição à vácuo –Sputtering –Térmica –Feixe de elétrons –Reatores de CVD Variação da composição das camadas

6

7

8 Filmes Finos Pode existir uma correlação entre o subtrato e o filme produzido –Epitaxial –(Des)Casamento entre as estruturas –Tensão normal e lateral –Relaxação –Formação de defeitos pontuais, discordâncias e interdifusão –Rugosidade interfacial

9 Óptica para Filmes Finos

10 Radiação monocromática Feixe colimado Dispersão cromática do feixe

11 Difração de Alto Ângulo X Baixo Ângulo Difração de incidência rasante –Separação entre o substratro e o filme depositado –Varredura com a fonte de raio-x fixa e detector variando –Ângulo de incidência do feixe entre 0,5 e 4,0 o

12 Reflexão de Raio-x Comportamento semelhante à luz para ângulos inferiores à 4 o Varredura -2 Lei de Snell Densidade eletrônica das camadas

13 Reflexão de Raios-x - Parâmetros Espessura Densidade atômica das camadas Qualidade interfacial –Rugosidade –Interdifusão entre as camadas

14 Teoria de Reflexão em Multicamadas Abelés (1948) e Parrat (1954) Teoria dinâmica –Efeito da absorção –Fenômeno de multiplas reflexões Desvio da trajetória de uma onda eletromagnética por uma mudança de índice de refração Equações de Maxwell

15

16

17 Teoria de Reflexão em Multicamadas Matriz de reflexão com as quatro componentes Cálculo da intensidade do feixe de saída refletido Cálculo recursivo a partir do substrato

18

19

20

21

22 Reflexão de Raios-x Rugosidade Interfacial Vidal e Vicent (1984) Transformação Wronskiana –Interface com rugosidade –Feixes incidente, transmitido e refletido –Reconstitui uma interface perfeita Teorema de Green em um circuito fechado

23

24 Reflexão de Raios-x Espessura Miceli (1986) Distância entre os batimentos da interferência construtiva e destrutiva Precisão de 0,01 nm para um sistema de multicamadas

25

26 Ajuste de Curvas Experimentais Rx-Optic, Avillez e Brant (1998) Parâmetros de entrada –Comprimento de onda –Dados experimentais –Dados para o chute inicial –Zero, background inicial e final

27

28 Estratégia do Ajuste Escala e o zero Espessura das camadas Rugosidade interfacial Densidade e composição química das camadas

29 Estudo de MQW Semicondutores

30

31

32 Resultados do Ajuste Amostra original –Cap Layer de InP de 20,0 nm 0,5 –MQW de In 0,55 Ga 0,45 As com espessura de 4,2 nm e InP 8,0 nm –Todas as camadas foram ajustadas com rugosidades de 0,32 nm

33 Estudos de Interdufisão Tratamento térmico à 585 o C entre 30 minutos e 4 horas Coeficiente de interdifusão Método de Cook-Hilliard (1969)

34

35 Referências Bibliográficas Optical Properties of Thin Solid Films – O.S. Heavens – Dover Publications – 1965 Sur La Propagation des Ondes Electromagnétiques dans Les Milieux Stratifíes – F. Abelés – Annais de Physique, 12 a série, t.3, p.33, 1948 Surface Studies of Solid by Total Reflection of X- Rays – L. Parrat – Physical Review, vol. 93, No.2, 15 de julho de 1954

36 Referências Bibliográficas Metallic Multilayers for X-Ray using Classical Thin Film Theory – B. Vidal e P. Vicent – Applied Optics, Vol. 23, No.11, p.1794, 1 o de junho de 1984 X-Ray Refractive Index: A tool to Determine the Average Composition in Multilayer Strucutures – P.F. Micelli, P. Neummann e H. Zabel – Applied Physics Letters, vol.48, No.1, p.24, 6 de janeiro de 1986

37 Referências Bibliográficas A Model for Diffusion on Cubic Lattices and its Applications to the Early Stages of Ordering – H.E. Cook, D. de Fontaine e J.E. Hilliard – Acta Metallurgica, Vol. 17, p.765m 17 de junho de 1969 Effect of Gradient Energy on Diffusion in Gold- silver Alloys - H.E. Cook e J.E. Hilliard - Journal of Applied Physics, Vol. 40, No.5, p.2191, abril de 1969

38 Referências Bibliográficas Caracterização de Filmes Finos Cristalinos e Amorfos por Reflexão de Raios-x – José Brant de Campos - Tese de Doutorado, PUC-Rio – 1998


Carregar ppt "Filmes Finos. Camadas com espessura inferior à 10 m –Monocamada –Multicamadas Espessuras da ordem de dezenas de ângstrons –Poços Quânticos Múltiplos de."

Apresentações semelhantes


Anúncios Google