Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs.

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1 Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs Caracterização térmica de filmes de cobre por termo-refletância Carolina Abs

2 Por que determinar a condutividade térmica de um material?

3 Principais métodos analisados para determinação da condutividade térmica Método Laser-Flash; Mirage; 3 ω; Termo-refletância.

4 Determinação da condutividade térmica perpendicular ao plano do filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo unidimensional de condução de fluxo de calor

5 t 1/2 é determinado através do gráfico obtido experimentalmente [2] Em que é a difusividade térmica, L é a espessura e t 1/2 é a metade do tempo necessário para que o corpo atinja sua temperatura máxima.

6 = difusividade térmica (m 2 /s) к = condutividade térmica (W/mK) = densidade (Kg/m 3 ) c = calor específico (J/Kg K)

7 Dificuldades encontradas Detector suficientemente rápido para o comprimento de onda; O transiente de temperatura é medido atrás do substrato.

8 Mirage

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12 Dificuldades encontradas Medidas estão muito próximas do limite de sensibilidade do método; A condutividade do ar acima do filme diminui a sensibilidade de detecção; Sensor de posição.

13 Método 3 ω

14

15 Dificuldades encontradas Envolve preparação da amostra; Alta uniformidade da superfície; Substrato.

16 Termo-refletância

17 Em que regime ela é aplicável?

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19 Teoria da Linha de Transmissão

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21 Método Stehfest

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23 1.Resistência térmica; 2.Condutividade térmica do substrato depende da dopagem;