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Corrosão (etching) seca Dr. Stanislav Moshkalev CCS-UNICAMP.

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Apresentação em tema: "Corrosão (etching) seca Dr. Stanislav Moshkalev CCS-UNICAMP."— Transcrição da apresentação:

1 Corrosão (etching) seca Dr. Stanislav Moshkalev CCS-UNICAMP

2 Processos em micro-fabricação: ciclo típico •deposição de filmes finos (semicondutor, metal, dielétrico, etc.) •litografia (fotorresiste / gravação com luz UV ou feixes de elétrons) •etching (corrosão) - tratamento (modificação) e remoção do material não coberto por fotorresiste •remoção de fotorresiste

3 Corrosão: principais requerimentos •Anisotropia •taxa de ataque •seletividade (Si/SiO 2 /fotorresiste) •defeitos (elétricos, estruturais, contaminação) •uniformidade ( lâminas de Si: 200 mm 300 mm)

4 Corrosão: •Tendência principal da microeletrônica: diminuição de tamanho característico de estruturas para escala sub-micron - nano

5 Corrosão úmida :Característica geral Vantagens: •simplicidade •rápida (taxa de ataque 1 m m /min) •seletividade - alta Problemas: •isotrópica (geralmente) 3 m) •em muitos processos: temperatura de substrato elevada ( C) •uniformidade •impurezas •reagentes: caros, tóxicos, reciclagem- difícil

6 Corrosão seca: uma solução do problema de anisotropia em escala sub-micron

7 Tendências básicas

8 Plasma de descarga elétrica: um sistema complexo com parâmetros interdependentes

9 Processos em plasmas reativos :

10 Corrosão seca: interação plasma-superfície •Sinergia de interação íons energéticos+ radicais reativos em processos na superfície sobre tratamento •Parâmetros importantes da interação: J r, J i, E i, s r, s,r, T s, J d

11 Corrosão seca: exemplos práticos de sistemas gás reativo-sólido I

12 Exemplos práticos de sistemas gás reativo-sólido II

13 Corrosão seca - sistema Si+F: processos na superfície

14 Corrosão: química de processos I (volatilidade de produtos)

15 Corrosão: química de processos II (pressão de vapor)

16 Corrosão: evolução de perfil

17 Corrosão: necessidade de overetch e da seletividade

18 Perfil de corrosão: grau de anisotropia

19 Processo de corrosão: mecanismos

20 Inibidores de corrosão: efeitos sobre perfil

21 Perfil de corrosão : efeito de carbofluoretos Fabricação de spacers

22 Bombardeamento iónico: efeitos sobre perfil


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