Corrosão (etching) seca

Apresentação em tema: "Corrosão (etching) seca"— Transcrição da apresentação:

1 Corrosão (etching) seca
Dr. Stanislav Moshkalev CCS-UNICAMP

2 Processos em micro-fabricação: ciclo típico
deposição de filmes finos (semicondutor, metal, dielétrico, etc.) litografia (fotorresiste / gravação com luz UV ou feixes de elétrons) etching (corrosão) - tratamento (modificação) e remoção do material não coberto por fotorresiste remoção de fotorresiste

3 Corrosão: principais requerimentos
Anisotropia taxa de ataque seletividade (Si/SiO2/fotorresiste) defeitos (elétricos, estruturais, contaminação) uniformidade ( lâminas de Si: 200 mm  300 mm)

4 Corrosão: Tendência principal da microeletrônica: diminuição de tamanho característico de estruturas para escala sub-micron - nano

5 Corrosão úmida :Característica geral
Vantagens: simplicidade rápida (taxa de ataque 1m m/min) seletividade - alta Problemas: isotrópica (geralmente) 3 m) uniformidade em muitos processos: temperatura de substrato elevada ( C) impurezas reagentes: caros, tóxicos, reciclagem- difícil

6 Corrosão seca: uma solução do problema de anisotropia em escala sub-micron

7 Tendências básicas

8 Plasma de descarga elétrica: um sistema complexo com parâmetros interdependentes

9 Processos em plasmas reativos :

10 Corrosão seca: interação plasma-superfície
Sinergia de interação íons energéticos+ radicais reativos em processos na superfície sobre tratamento Parâmetros importantes da interação: Jr , Ji , Ei , sr , s ,r , Ts , Jd

11 Corrosão seca: exemplos práticos de sistemas gás reativo-sólido I

12 Exemplos práticos de sistemas gás reativo-sólido II

13 Corrosão seca - sistema Si+F: processos na superfície

14 Corrosão: química de processos I (volatilidade de produtos)

15 Corrosão: química de processos II (pressão de vapor)

16 Corrosão: evolução de perfil

17 Corrosão: necessidade de overetch e da seletividade

18 Perfil de corrosão: grau de anisotropia

19 Processo de corrosão: mecanismos

20 Inibidores de corrosão: efeitos sobre perfil

21 Perfil de corrosão : efeito de carbofluoretos
Fabricação de spacers

22 Bombardeamento iónico: efeitos sobre perfil