X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Matriz de Microlentes Poliméricas Fabricadas por Micro-usinagem.

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1 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Matriz de Microlentes Poliméricas Fabricadas por Micro-usinagem de Silício A.C.S. Arruda ; G.A. Cirino ; R.D. Mansano P. Verdonck ; R. Ruas LSI - EPUSP - Universidade de São Paulo São Paulo - SP, Brasil Luiz G. Neto EESC – Universidade de São Paulo São Carlos - SP, Brasil

2 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Sumario 1. Introdução e Objetivos 2. Fabricação das Microlentes - Molde a partir de Silício - Replicagem em PMMA 3. Resultados 4. Conclusão 5. Agradecimentos

3 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Introdução > O emprego de elementos difrativos é cada vez mais frequente em sistemas ópticos > A fabricação destes elementos utiliza etapas de processo de CI, como litografia e corrosão por plasma > Para obter dispositivos à baixo custo, empregam-se processos de replicagem em polímeros, a partir de uma matriz de alta qualidade

4 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Objetivo > Fabricar matrizes de microlentes cilíndricas de baixo custo utilizando PMMA 2 Etapas: > Inicialmente, fabrica-se um molde em silício > Em seguida, replica-se a estrutura em PMMA

5 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Fabricação da Matriz de Microlentes Poliméricas > Processamento do Molde em Silício

6 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Fabricação da Matriz de Microlentes Poliméricas > Replicagem em PMMA

7 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Resultados (Caract. Física) > Qualidade do Molde (Si) Micrografias do Molde

8 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Resultados (Caract. Física) > Qualidade da Réplica (PMMA) Molde Réplica

9 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Resultados (Caract. Óptica) > Arranjo Experimental & Imagem Obtida Variação de 30% na intensidade ao longo da linha

10 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Conclusão > Foi demonstrada a viabilidade da fabricação de uma matriz de microlentes cilíndricas de baixo custo em PMMA > Caracterização óptica mostra abertura de um feixe laser em alto ângulo, com variação de 30% na intensidade das ordens de difração

11 X Simpósio Brasileiro de Microondas e Optoeletrônica Sessão Técnica ST 16 – Materiais Ópticos Agradecimentos > F. Araes pelas micrografias SEM > CenPRA pela fabricação da máscara litográfica > FAPESP e CNPq pelo suporte financeiro